반도체 제조용 극저온 ASU

Shenger Gas 극저온 공기 분리 장치는 반도체 칩 제조와 같은 첨단 산업을 위해 특별히 설계된 핵심 공정 장비입니다. 입증된 극저온 증류 기술을 활용하여 대기 공기를 초-고순도-질소, 산소 및 아르곤으로 분리합니다. 반도체 제조용 극저온 ASU의 설계 개념을 중심으로 한 이 제품 라인은 칩 수율, 공정 일관성 및 전반적인 생산 효율성을 유지하는 데 중요한 기반이 되는 순도 수준이 ppb 범위-에 달하는 공정 가스의 안정적이고 안정적인 공급을 보장합니다.

반도체 제조에 전용 극저온 공기 분리 장치가 필요한 이유는 무엇입니까?

화학 기상 증착, 포토리소그래피, 에칭- 등의 반도체 제조 공정-은 매우 높은 가스 순도, 안정성 및 공급 연속성을 요구합니다. 미량의 수분, 산소 또는 탄화수소 불순물이라도 웨이퍼 결함이나 완전한 배치 거부를 유발할 수 있습니다. Shenger Gas는 이러한 엄격한 산업 요구 사항을 완전히 이해하고 있습니다. 당사의 반도체 제조 솔루션용 극저온 ASU는 이러한 문제를 해결하기 위해 특별히 개발되었으며 - 수율, 공정 정밀도 및 생산 신뢰성을 보호하는 매우 순수하고 안정적이며 중단 없는 가스 공급을 제공합니다.

핵심 장점 및 특징

1. 초-고순도 및 탁월한 안정성

• 다단계 증류 컬럼과 분자체 정제 시스템의 긴밀한 통합을 통해 Shenger Gas ASU는 99.9999% 이상의 순도 수준으로 질소를 지속적으로 제공하는 동시에 주요 불순물(H2O, O2, THC, CO, CO2)을 ppb 범위 내에서 엄격하게 제어합니다.
• 지능형 제어 시스템은 그리드 변동과 부하 변동을 효과적으로 보상하여 안정적인 출구 압력과 순도를 보장합니다. -반도체 공장의 연중무휴 연속 생산 요구 사항을 완벽하게 충족합니다.

2. 높은 신뢰성과 에너지 효율성

• 판-핀 열 교환기 및 극저온 밸브와 같은 핵심 구성 요소는 선도적인 국제 브랜드에서 공급되어 높은 시스템 통합, 최소 고장률 및 업계 표준을 훨씬 초과하는 평균 고장 간격(MTBF)을 보장합니다.
• 최적화된 에너지 회수 시스템과 고{0}}효율성 터보-팽창 기술을 통해 제품 가스 단위당 전반적인 특정 에너지 소비량이 크게 감소하여 고객에게 상당한 장기적 운영 비용 절감 효과를 제공합니다.-

3. 지능형 운영 및 원격 유지 관리

• Shenger Gas의 독점적인 'Shenger Smart Gas Cloud' 모니터링 플랫폼을 갖춘 이 시스템은 실시간 성능 추적, 오류 예측, 에너지 효율 분석을{0}}가능하게 합니다.{1}}
• 원격 진단 및 기술 지원을 지원하여 유지 관리 응답 시간을 대폭 단축하고 전 세계 고객에게 안정적이고 효율적인 애프터 서비스를{0}}제공합니다.

4. 모듈형 설계 및 확장성

• 모듈식 시스템 아키텍처는 컴팩트한 구조, 편리한 운송, 신속한 현장 설치 및 시운전을 보장하여{0}}프로젝트 건설 주기를 효과적으로 단축합니다.
• 생산 용량은 확장성이 뛰어나므로 향후 팹 확장을 수용할 수 있는 유연한 구성이 가능하므로 - 고객의 장기 투자와 운영 지속 가능성을 보호할 수 있습니다.-

기술 사양(일반적인 예)

참고: 위 사양은 일반적인 매개변수 범위를 나타냅니다. 최종 구성은 특정 프로젝트 및 프로세스 요구 사항에 따라 결정됩니다.

응용 산업

초-고순도-와 매우 안정적인 가스 공급을 제공하는 핵심 기능을 활용하는 Shenger Gas 극저온 공기 분리 시스템은 반도체 제조의 기초 역할을 할 뿐만 아니라 가스 품질이 중요한-다른 첨단 기술 산업 전반에 걸쳐 널리 적용됩니다.

• 평판 디스플레이 제조

어레이 제조, 컬러 필터, 셀 조립 및 모듈 캡슐화를 포함한 OLED, 마이크로-LED 및 기타 차세대-디스플레이 패널-의 전체 생산 공정을 위해 당사 시스템은 대량의 초{4}}고순도 질소를 공급합니다.- 이는 박막 트랜지스터 및 유기 발광 재료의 산화를 효과적으로 방지하는 산소-, 습기-가 없는 깨끗한 분위기를 조성하여 더 높은 수율과 더 긴 제품 수명을 보장합니다.

• 태양광발전 및 신에너지

Shenger Gas 솔루션은 실리콘 정제, 결정 성장 및 셀 코팅 공정뿐만 아니라 전극 건조, 전해질 충전 및 밀봉과 같은 리튬 배터리 생산의 중요한 단계에서 광전지 산업을 지원합니다. - 이 모두는 수분과 산소에 매우 민감합니다. 당사의 안정적이고 비용 효율적인-고순도-가스 공급은 제품 성능, 에너지 밀도 및 전반적인 안전성을 향상시킵니다.

• 고급-화학제품 및 제약

정밀 화학 합성, 특수 소재 생산, 바이오제약 공정에서 당사의 가스는 반응기 블랭킷, 대기 대체 및 반응용 공급 가스로 사용됩니다. 탁월한 안정성과 고급 자동화 제어 기능을 갖춘 당사의 극저온 시스템은 공정 무결성, 안전성 및 제품 일관성에 대한 업계의 엄격한 표준을 충족합니다.

• 과학 연구 및 항공우주

Shenger Gas는 대규모 입자 물리학 실험, 항공우주 풍동 테스트, 초전도 재료 연구와 같은 최첨단 응용 분야를 위한 극저온 환경과 특수 가스 솔루션을 제공합니다.{0}} 극저온 ASU의 안정적이고 신뢰할 수 있는 성능은 국가-수준의 과학 인프라 개발과 최첨단 기술의 혁신을 지원합니다.-

품질 및 인증

Shenger Gas는 품질과 안전에 대한 최고 수준의 국제 표준을 준수하기 위해 최선을 다하고 있습니다. 당사가 제공하는 모든 반도체 제조 시스템용 극저온 ASU는 엄격한 글로벌 프레임워크에 따라 설계, 제조 및 테스트되어 엔지니어링 설계부터 현장 운영까지 모든 단계-에서 신뢰성, 일관성 및 규정 준수를 보장합니다.

• 품질 관리 시스템: ISO 9001:2015 인증을 받아 설계, 조달, 제조부터 애프터 서비스까지 전체{2}}프로세스 품질 관리를 보장합니다.-
• 압력 용기 및 배관: 모든 임계 압력 구성 요소 및 배관 시스템은 ASME BPVC 섹션 VIII, 부문 1에 따라 설계 및 제조되었으며 NB(National Board) 시스템 인증을 받아 본질적인 장비 안전을 보장합니다.
• 전기 및 안전 규정 준수: IEC/EN 국제 표준을 완벽하게 준수하고 인터록 및 프로세스 보호를 위한 포괄적인 안전 계장 시스템(SIS)을 갖추고 있습니다.
• 업계 표준: 시스템 설계 및 성능은 SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International) 지침 및 반도체 등급 가스 공급 시스템에 대한 모범 사례를 엄격하게 준수합니다.-

중국 산업용 가스 산업의 선두 기업인 Shenger Gas는 극저온 기술 분야에서 20년 이상의 경험과 광범위한 프로젝트 실행 전문 지식을 보유하고 있습니다. 우리는 고급 장비뿐만 아니라 프로젝트 컨설팅, 프로세스 설계, 설치 및 시운전, 운영 교육, 예비 부품 지원을 포함한 포괄적인 턴키 엔지니어링 서비스-도 제공합니다. 반도체 제조용 극저온 ASU를 선택한다는 것은 글로벌 반도체 공급망의 신뢰성과 경쟁력 강화에 전념하는 신뢰할 수 있는 장기 파트너를 선택한다는 것을 의미합니다.-

반도체 제조 프로젝트를 위한 신뢰할 수 있는 고순도 가스 공급 솔루션을 찾고 계시다면 지금 Shenger Gas 엔지니어링 팀에 문의하시기 바랍니다. 숙련된 전문가가 프로젝트의 정확한 요구사항을 충족할 수 있는 맞춤형 기술 제안과 경쟁력 있는 견적을 제공할 것입니다.{2}}

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