전자제품용 고순도 극저온 공기 분리 장치

전자제품용 고순도 극저온 공기 분리 장치는 반도체 제조 공장, LED 에피택시 및 PV 셀 라인에 99.999% 이상의 질소, 산소 또는 아르곤을 연속적으로 공급합니다. 이 장치는 순환 없이 연중무휴 24시간 작동됩니다. 배출구 불순물은 일반적으로 총 탄화수소 1ppm 미만, CO2 0.5ppm 미만입니다.

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제품 소개

프로세스 설명

주변 공기는 압축되고-예냉된 후 물, CO2 및 탄화수소를 제거하는 정화 스키드를 통과합니다. 그런 다음 깨끗한 공기는 두 개의 증류탑이 포함된 차가운 상자로 들어갑니다. 컬럼 작동 온도는 -185도에서 -196도 사이입니다. 끓는점(N2: -196도, O2: -183도)을 기준으로 기화와 응축이 반복되면서 분리가 일어납니다. 제품 가스는 질소의 경우 고압 컬럼 상단에서, 산소 및 아르곤의 경우 저압 컬럼에서 끌어옵니다.

일반적인 성능 데이터

매개변수	범위(설계 조건에서)
N₂ 순도	99.999% – 99.9999%
N₂유량	50 – 5,000Nm³/h
O₂ 순도	99.6% – 99.999%
비동력(N₂)	0.38 – 0.45kWh/Nm³
납품 압력	0.4~1.0MPa(g)
콜드 스타트 시간	6~8시간
대기 모드에서 핫 재시작	~20분

값은 현장 주변 온도, 냉각수 조건 및 최종 순도 요구 사항에 따라 달라집니다. 프로세스 시뮬레이션을 통해 확인하세요.

전력 소비 및 안정성 절충-

전자제품용 고순도 극저온 공기 분리 장치의 경우 특정 전력 소비가 가장 큰 운영 비용입니다. 이 설계는 위에 표시된 범위 내에서 출력을 유지하기 위해 고효율-터보팽창기와 단계적 증류 컬럼을 사용합니다.

그러나 전자제품 제조공장 역시 높은 중단 위험에 직면해 있습니다. 가스 공급 실패로 인해 전체 웨이퍼 로트가 폐기될 수 있습니다. 따라서 일반적으로 기화기 또는 대기 컬럼이 있는 액체 저장 탱크를 추가하는 것이 좋습니다. 이는 자본 비용을 증가시키지만 생산 손실 위험을 줄입니다. 많은 고객은 가동 중지 시간 비용을 직접 계산한 후 더 높은 첫 번째 비용을 받아들입니다.

기술 사양

분리 방법: 극저온 정류
컬럼 재질: 알루미늄 합금 5083 또는 304/316L 스테인리스강
제어 시스템: PLC(Siemens 또는 Rockwell) 또는 Modbus TCP/IP 원격 액세스 기능이 있는 DCS
제품 내 잔류 탄화수소: < 1ppm
정화 후 CO₂: < 0.5ppm
제품 이슬점: < -70도

사용자 정의 옵션

사이트마다 조건이 다릅니다. 우리는 다음을 조정합니다:

높은 주변 온도, 습도 또는 고도에 맞게 설계
순도 등급(예: 99.9995% N²만 사용 - 컬럼 단계 수 감소, 전력 감소)
전체 추출 구성(N2 + O2 + Ar 동시)
액체 백업 시스템 통합(탱크 + 기화기 + 자동 전환)
공간이 제한된 사이트를 위한 컨테이너식 또는 스키드-마운트 레이아웃-

최종 설계를 제안하기 전에 현장 데이터(주변 조건, 필요한 유량, 순도, 압력)가 필요합니다.

서비스 및 인증

범위: 프로세스 설계, 제작, 현장 설치, 시운전, 운영자 교육, 지속적인 유지 관리 지원
인증: ISO 9001, ISO 14001, ASME 또는 PED(필요한 경우), 중국 압력 용기 라이센스
참고 자료: NDA에 따라 이용 가능합니다. 허가 없이는 고객 이름을 공유하지 않습니다.

Shenger 가스 소개

Shenger Gas는 사전 설정된 브로셔가 아닌 실제 현장 조건을 기반으로 전자제품용 고순도 극저온 공기 분리 장치를 설계하고 제작합니다.- 우리는 각 프로젝트에 대해 전체 프로세스 시뮬레이션을 실행합니다. 공장 검사에는 헬륨 누출 테스트와 저온 성능 점검이 포함됩니다. 현장에서 제품 가스가 연속 72시간 동안 사양을 충족할 때까지 시운전합니다. 이것이 우리의 핸드오버 표준입니다. 데이터가 없으면 청구할 수 없습니다.